半導體生產(chǎn)中應用的超純水設備都由哪些工藝組成？
半導體是作為一種電子性質(zhì)介于導體和絕緣體之間的材料，具有重要的電子學(xué)和光電學(xué)性質(zhì)，廣泛用于電子、光電和信息技術(shù)領(lǐng)域。其在制造過(guò)程中需要清洗的超純水，幾乎每道工序都需要超純水作為清洗用水，為了更好地為半導體生產(chǎn)清洗用水供給，超純水設備也在增加生產(chǎn)力度。
目前，半導體生產(chǎn)中應用的超純水設備摒棄了傳統工藝，核心是采用的膜法技術(shù)，應用反滲透工藝與EDI和混床工藝來(lái)生產(chǎn)超純水，不僅產(chǎn)水量增加，出水電導率可達18.2mΩ， 滿(mǎn)足了芯片行業(yè)用水需求。
該超純水設備采用的核心工藝組成介紹如下：
1、反滲透工藝：利用反向滲透原理，有效除去水中溶解鹽類(lèi)、有機物、膠體、大分子物質(zhì)等，降低水質(zhì)的離子含量。
2、EDI模塊：無(wú)需酸堿再生，運行成本低，EDI系統的自動(dòng)化程度很高，可以連續工作，出水水質(zhì)好且穩定，出水電阻率≥15MΩ·CM。
3、拋光混床工藝：專(zhuān)門(mén)用于高純度的水處理系統中的終端精制器，能夠將水中的離子含量降到PPB級別，出水電阻率可達18.2MΩ·CM。
以上，介紹的工藝就是目前半導體生產(chǎn)應用的超純水設備核心工藝組成。萊特萊德水處理設備公司超純水設備在保證出水達標的同時(shí)，還考量了日常使用方便性、耗材更換方便性、擴建前瞻預判等細節，為半導體生產(chǎn)提供了高品質(zhì)的超純水。
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