硅晶圓的重要性以及生產(chǎn)時(shí)為何需要超純水設備？
前言：硅晶圓是現代微電子工業(yè)的基礎材料，對于現代科技的發(fā)展具有至關(guān)重要的意義。微電子技術(shù)的發(fā)展已成為信息技術(shù)、航空航天、軍事、通信、能源等眾多領(lǐng)域的基礎，而這一切都離不開(kāi)硅晶圓的生產(chǎn)。而在硅晶圓制造工藝中還離不開(kāi)一種設備的身影，那就是超純水設備。
硅晶圓的制造過(guò)程中為何需要超純水設備？
因為，硅晶圓的制造過(guò)程中，需要使用大量的水進(jìn)行清洗和蝕刻。如果水質(zhì)中含有雜質(zhì)，就會(huì )對硅晶圓表面造成劃痕或腐蝕，影響產(chǎn)品的質(zhì)量。超純水設備可以去除水中的微粒、有機物、無(wú)機物和其他雜質(zhì)，確保水質(zhì)達到極高純度，從而保證硅晶圓的質(zhì)量。
硅晶圓生產(chǎn)中應用的超純水設備主要采用的是預處理+反滲透+EDI+混床的組合形式來(lái)制備超純水。設備具有高效低能、運行成本低，水資源利用率高、體積較小、維修量小，運行時(shí)間長(cháng)等優(yōu)點(diǎn)。并且設備采用的EDI模塊可以避免添加任何化學(xué)品，不僅減少了化學(xué)品運輸問(wèn)題，同時(shí)降低了系統運行費用。EDI模塊的應用不會(huì )產(chǎn)生酸堿廢液，因此不需要酸堿中和處理，這也就減少了一定的投資成本。
超純水設備不僅擁有上述的優(yōu)勢，還能夠連續穩定地制備品質(zhì)優(yōu)良的超純水，水質(zhì)符合國家GMP認證規定標準，而且還能夠滿(mǎn)足各種工業(yè)用水的不同需求，應用范圍非常廣泛，可適用于電子、半導體、線(xiàn)路板、集成電路、精密機械的生產(chǎn)和清洗，還可以應用在食品、飲品和飲用水的制取行業(yè)中。
結論：硅晶圓作為現代微電子工業(yè)的基礎材料，超純水設備能夠提供高純度的水，可以有效避免因水質(zhì)問(wèn)題引發(fā)的硅晶圓被劃產(chǎn)生劃痕等問(wèn)題，保證了硅片的質(zhì)量和性能。因此，超純水設備是生產(chǎn)高質(zhì)量硅晶圓的必要條件。
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編輯：柒柒 技術(shù)：米
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