半導體生產(chǎn)為何需要應用超純水設備？

時(shí)間：2023-11-24

　　超純水是一種將水中的導電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的高純度水，一般電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值(25℃)的我們才稱(chēng)之為超純水。對于半導體行業(yè)而言，超純水是確保其高效生產(chǎn)的基石之一，所以我們才說(shuō)半導體生產(chǎn)離不開(kāi)超純水設備。

　　在半導體生產(chǎn)環(huán)節中，清洗步驟占據了整個(gè)生產(chǎn)總步驟的三分之一,可以說(shuō)整個(gè)清洗過(guò)程離不開(kāi)超純水設備。應用專(zhuān)業(yè)的超純水設備即可產(chǎn)出高品質(zhì)的超純水，如今半導體行業(yè)常用的超純水設備核心工藝為反滲透工藝、EDI系統、混床工藝，這樣生產(chǎn)出的超純水電阻率可達18 MΩ*cm(25℃)，具有環(huán)保、經(jīng)濟、發(fā)展潛力巨大等諸多優(yōu)勢。

超純水設備

　　半導體行業(yè)應用的超純水設備核心采用的是曲線(xiàn)微導力技術(shù)，應用膜法技術(shù)，在拋光段采用進(jìn)口拋光樹(shù)脂以及自主研發(fā)的除硼專(zhuān)用樹(shù)脂，在保證系統高回收率的同時(shí)，有效提高系統的產(chǎn)水水質(zhì)。設備中應用的EDI系統是一種將離子交換膜技術(shù)和離子電遷移技術(shù)相結合的純水制造技術(shù)，無(wú)需酸堿再生，是一種新型的脫鹽方式，該系統的應用幫助超純水設備降低了運行成本。該設備可連續穩定地制備超純水，不會(huì )因為樹(shù)脂再生而停止運行，設備結構設計比較嚴密，所以其占地面積非常小，可以為企業(yè)節省大量空間，屬于實(shí)用型超純水設備。

　　綜上所述，半導體行業(yè)的發(fā)展離不開(kāi)超純水設備的應用，該設備深受半導體行業(yè)的青睞，在電子芯片、集成電路及封裝、晶圓、科研、航空航天等領(lǐng)域中應用良多。

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　　編輯：柒柒技術(shù)：米

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